一種擇優生長ITO透明導電薄膜的制備方法技術

本發明磚利技術公開了一種擇優生長ITO透明導電薄膜的制備方法，其步驟包括清洗襯底；制備硫化鋅緩沖薄膜；制備(222)擇優取向的ITO薄膜。本發明磚利技術采用磁控濺射技術，在潔凈的玻璃基底上先沉積一層ZnS薄膜，通過控制玻璃基底溫度得到具有(111)擇優取向的ZnS；然后再通過控制制備工藝沉積ITO，即可得到具有(222)擇優取向的ITO薄膜。本發明磚利技術的擇優生長ITO透明導電薄膜的制備方法，通過增加ZnS緩沖層，獲得具有(222)擇優取向的ITO薄膜，提高ITO的光電性能。

Method for preparing ITO transparent conductive film with preferential growth

The invention discloses a method for preparing a ITO transparent conductive film with preferential growth. The method comprises the steps of cleaning the substrate, preparing the zinc sulfide buffer film, and preparing (222) the ITO film with preferred orientation. The invention adopts magnetron sputtering on the clean glass, depositing a layer of ZnS film by controlling the temperature of a glass substrate (111) preferred orientation of ZnS; and then by controlling the preparation process of the deposition of ITO, can be obtained with (222) preferred orientation of ITO thin films. The invention provides a method for preparing a preferred growth ITO transparent conductive film, which is characterized in that a ITO film with (222) preferred orientation is obtained by increasing the ZnS buffer layer, and the photoelectric performance of the ITO is improved.

【技術實現步驟摘要】

本磚利技術涉及一種擇優生長ITO透明導電薄膜的制備方法，屬于太陽能電池領域。
技術介紹
太陽能電池是一種基于半導體pn結吸收太陽光轉變成電能的光伏器件，其太陽光吸收層材料主要包括晶體硅和化合物薄膜如碲化鎘、銅銦鎵硒、氧化亞銅等。在晶硅太陽能電池和薄膜太陽能電池結構中，透明導電氧化物薄膜都起到重要作用，一是作為電極收集光生載流子，二是作為透光層使得太陽光透過該層到達吸收層；除了上述作用外，透明導電氧化物薄膜還可以用作紅外反射材料；透明導電氧化物薄膜還在發光二極管上有廣泛應用。常見的透明導電氧化物薄膜包括ITO、AZO和FTO，其中ITO的光電性能*好，在可將光區的光學透過率達到90％。直流磁控濺射技術作為一種高速沉積的薄膜制備方法，制備出來的薄膜樣品致密度高、沉積速度快，薄膜性能穩定，工藝參數可控性高，適合于工業化生產。
技術實現思路
本磚利技術所要解決的技術問題是：采用磁控濺射技術制備的ITO透明導電薄膜為單相多晶結構，主要包括(211)(222)(400)(440)(622)等晶粒結構，本磚利技術通過增加一層ZnS緩沖層材料，可制備出具有(222)擇優取向的ITO透明導電薄膜，從而提高ITO透明導電薄膜的光電性能。本磚利技術的技術方案如下：一種擇優生長ITO透明導電薄膜的制備方法，包括如下步驟：步驟1：清洗襯底；步驟2：制備硫化鋅緩沖薄膜；步驟3：制備(222)擇優取向的ITO薄膜。...

【技術保護點】
一種擇優生長ITO透明導電薄膜的制備方法，包括如下步驟：步驟1：清洗襯底；步驟2：制備硫化鋅緩沖薄膜；步驟3：制備(222)擇優取向的ITO薄膜。

【技術特征摘要】
1.一種擇優生長ITO透明導電薄膜的制備方法，包括如下步驟：
步驟1：清洗襯底；
步驟2：制備硫化鋅緩沖薄膜；
步驟3：制備(222)擇優取向的ITO薄膜。
2.根據權利要求1所述的一種擇優生長ITO透明導電薄膜的制備方法，其特征
在于：所述步驟1包括如下步驟：
步驟1-1：切割石英玻璃；
步驟1-2：將切割好的石英玻璃在玻璃清洗劑中浸泡；
步驟1-3：經玻璃清洗劑浸泡后的石英玻璃使用純水超聲清洗；
步驟1-4：將純水超聲清洗后的石英玻璃用高純氮氣吹干，然后放入真空腔
內。
3.根據權利要求1所述的一種擇優生長ITO透明導電薄膜的制備方法，其特征
在于：所述步驟2包括如下步驟：
步驟2-1：腔體抽真空，使得背景真空達到1×10-4Pa；
步驟2-2：在1×10-4Pa的真空下，石英玻璃襯底加熱，溫度為室溫～300℃；
步驟2-3：通入高純氬氣，對ZnS靶進行磁控濺射，以去除靶材表面的氧化
物；
步驟2-4：控制氬氣流量范圍5～20sccm，使得腔體真空度維持在0.3～10Pa；
步驟2-5：在氬氣氣氛下，使用預濺射處理的硫化鋅靶在石英玻璃襯底上進
行射頻磁控濺射，沉積硫化鋅薄膜。
4.根據權利...

【磚利技術屬性】
技術研發人員：杜文漢，楊景景，劉珂琴，張燕，趙宇，熊超，

上海卷柔新技術光電有限公司是一家專業研發生產光學儀器及其零配件?的高科技企業，公司成立２００５年，專業的光電鍍膜公司，公司產品主要涉及光學儀器及其零配件的研發和加工；光學透鏡、反射鏡、棱鏡等光學鍍膜產品的開發和生產，為全球客戶提供上等的產品和服務。

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